Cảm biến lưu lượng SEMIFLOW CO.65 / CO.66 PI Ex1
Cho hóa chất bán dẫn và môi trường khắc nghiệt
Giám sát lưu chất không xâm lấn · Semiconductor Manufacturing
Đo lưu lượng trong sản xuất bán dẫn
Đo lưu lượng lỏng tin cậy đóng vai trò quan trọng trong quản lý quy trình bán dẫn: giám sát quá trình ướt để đảm bảo dòng chảy ổn định hoặc kiểm soát định lượng thể tích tại điểm sử dụng. SEMIFLOW là dòng đồng hồ lưu lượng không tiếp xúc, phi kim, thiết kế riêng cho yêu cầu ngành bán dẫn — kể cả môi trường nguy hiểm.
Giám sát lưu lượng trong CMP
Tái lập và kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt xuyên suốt quá trình chế tạo wafer là ưu tiên hàng đầu. Đồng hồ clamp-on không tiếp xúc đo xuyên thành ống, giảm đáng kể nguy cơ nhiễm bẩn hoặc rò rỉ hóa chất nguy hiểm. Trong mài hóa cơ (CMP), giám sát tiêu thụ slurry ổn định là then chốt.
Định lượng photoresist và phân phối hóa chất
SEMIFLOW CO.65 phi kim, điện tử tích hợp, có nhiều cỡ cho các ống nhựa cứng thông dụng trong fab. Đo tin cậy bất kể loại hay tỷ lệ pha hóa chất — từ bình chứa đến điểm sử dụng, cho cả sản xuất khối lượng thấp lẫn cao. Phiên bản Ex phù hợp môi trường nguy hiểm.
Lợi ích chính
Vì sao chọn giải pháp siêu âm SONOTEC
- Cảm biến phi kim, không tiếp xúc — giảm nguy cơ nhiễm bẩn và rò hóa chất
- Đo tin cậy bất kể loại hoặc tỷ lệ pha hóa chất
- Nhiều cỡ cho ống nhựa cứng thông dụng trong fab
- Phiên bản Ex cho môi trường nguy hiểm (CO.66 PI Ex1)
Thiết bị đề xuất
Thiết bị SONOTEC cho ứng dụng này
Cảm biến lưu lượng siêu âm clamp-on SONOFLOW CO.55
Đo lưu lượng không tiếp xúc, không nhiễm bẩn
Cảm biến lưu lượng kiêm bọt khí SONOFLOW CO.56
Hai chức năng trong một cảm biến y tế
Câu hỏi thường gặp
FAQ — Đo lưu lượng trong sản xuất bán dẫn
Vì sao bán dẫn cần cảm biến phi kim?
Hóa chất trong fab (slurry, dung môi, acid) ăn mòn và cần độ sạch cao. Cảm biến phi kim clamp-on đo xuyên thành ống, không có bộ phận kim loại tiếp xúc dịch — giảm nhiễm bẩn và ăn mòn.
Đo được slurry CMP không?
Được. SEMIFLOW đo tin cậy bất kể loại hay tỷ lệ pha hóa chất, kể cả slurry CMP — giám sát tiêu thụ ổn định cho chất lượng đồng nhất.
Có bản cho khu vực nguy hiểm không?
Có. SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 là phiên bản đạt chuẩn dùng trong môi trường nguy hiểm (Ex).
Triển khai đo lưu lượng trong sản xuất bán dẫn tại nhà máy của bạn
Đặt lịch demo tại hiện trường, nhận tư vấn cấu hình và báo giá thiết bị chính hãng SONOTEC trong 24 giờ làm việc.